【摘 要】
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研究不同沉积压力对化学气相沉积CVD金刚石涂层的组织结构及切削性能的影响。采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,在不同的沉积压力下于WC-Co基硬质合金基体表面制备金刚石涂层
【基金项目】
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福建省中科院STS计划配套项目(2019T3002,2020T3102)
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研究不同沉积压力对化学气相沉积CVD金刚石涂层的组织结构及切削性能的影响。采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,在不同的沉积压力下于WC-Co基硬质合金基体表面制备金刚石涂层。通过X射线衍射分析(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)分析涂层的微观组织结构,利用拉曼光谱(Raman Spectroscopy)分析金刚石涂层的成膜质量。研究结果表明,在金刚石涂层沉积压力为5~15mbar时,提高涂层沉积压力可以有效提高金刚石涂层表面晶粒尺寸、金刚石峰强度比及纯度,同时提高涂层〈111〉晶面取向择优。在铣削3D
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