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纸源扩散由于工艺简单,周期短,成品率高,节约工艺费用的优点,在大功率硅整流元件的生产中获得了广泛地应用.本文通过应用实例对该工艺的相应优势进行分析.
硅整流元件的纸源扩散工艺及应用
【摘 要】
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纸源扩散由于工艺简单,周期短,成品率高,节约工艺费用的优点,在大功率硅整流元件的生产中获得了广泛地应用.本文通过应用实例对该工艺的相应优势进行分析.
【机 构】
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洛阳单晶硅有限责任公司
【出 处】
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河南冶金
【发表日期】
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2001年6期
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