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分析了平面电感耦合微波等离子体源（ICP）的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺旋线圈的尺寸是影响谐振频率和Q值的关键因素.这为小功率电感耦合微波等离子体源的进一步研究提供了理论基础.
ICP源平面微带螺旋天线参数对性能的影响
【摘 要】
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分析了平面电感耦合微波等离子体源（ICP）的基本理论,根据其等效电路设计了一个谐振频率在2.45 GHz的平面微带螺旋天线,通过建模进行仿真优化,并提出减小损耗的方法.研究发现,螺
【机 构】
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华东师范大学信息学院电子系
【出 处】
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应用科学学报
【发表日期】
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2007年4期
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