【摘 要】
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电磁干扰(EMI)日益严重,在产品表面镀覆电磁屏蔽膜成为抗EMI主要措施之一。本文采用磁控溅射技术在聚酯塑料(PET)上制备出附着力大于5MPa、2GHz～4GHz频率范围内屏蔽效能大于60
【机 构】
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杭州电子科技大学,浙江大学信电系,
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电磁干扰(EMI)日益严重,在产品表面镀覆电磁屏蔽膜成为抗EMI主要措施之一。本文采用磁控溅射技术在聚酯塑料(PET)上制备出附着力大于5MPa、2GHz～4GHz频率范围内屏蔽效能大于60dB的复合结构的电磁屏蔽膜,并研究了导电膜、导磁膜及其复合膜层的电磁屏蔽特性。有关数据表明:镀覆500nmCu+300nm 1Cr18Ni9Ti的复合屏蔽膜可以获得屏蔽效果、成膜速率和结合力的综合好效果。溅射功率、膜层厚度对电磁屏蔽特性和结合力有一定影响。
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