磁过滤真空阴极电弧沉积无定形金刚石碳膜

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应用磁过滤真空阴极电弧离子沉积技术,以石墨为阴极靶材,在基片上沉积碳膜.利用光电子能谱,喇曼谱和扫描电镜对薄膜的结构形貌进行分析.结果表明:碳膜由具有金刚石特征SP3和非晶碳特征SP2的碳组成,并称之为无定形金刚石碳膜aD.
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