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本文介绍测定被分析残气样品分压强的一种实用的新方法,其实质在于用四极质谱定量分析与电离计测量的组合。将电离计读数压强转化成真实压强(计算值),进一步求出残气分压强。
一种实用的残余气体分压强定量测定方法及其应用
【摘 要】
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本文介绍测定被分析残气样品分压强的一种实用的新方法,其实质在于用四极质谱定量分析与电离计测量的组合。将电离计读数压强转化成真实压强(计算值),进一步求出残气分压强。
【机 构】
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南京电子管厂,南京电子管厂
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1989年6期
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