大直径单晶体生长控制系统研制

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本文研制开发了一种大直径单晶体生长控制系统,主要部件采用稀土永磁直流力矩测速机组,滚珠丝杠,嵌入式单片机、交流伺服电机等。提出了一种用单片机和D/A转换器实现交流伺服电机多波形控制的优化算法,提高了控制精度,简化了编程方案。试验证明它性能可靠,工作稳定,是较完美的大直径单晶体生长控制系统。现已正式投入使用。
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