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应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时 ,由于各种因素的影响 ,表面形貌的测量会产生失真的现象 .本文采用数字信号滤波与平滑技术消除了测量过程中系统误差引起的波纹度及系统噪音 ,去除了在图象的数字化和传输过程中产生的高频噪音和假轮廓 ,使得测量结果更接近于实际值
表面微观形貌测量中数字图象处理的应用
【摘 要】
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应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时 ,由于各种因素的影响 ,表面形貌的测量会产生失真的现象 .本文采用数字信号滤波与平滑技术消除了测量过程中系统误差引起的波纹度及系统噪音 ,去除了在图象的数字化和传输过程中产生的高频噪音和假轮廓 ,使得测量结果更接近于实际值
【机 构】
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中国科学院,清华大学精密仪器与机械学系,
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2001年11期
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