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用脉冲激光沉积法(PLD)制备氧化锌薄膜,600℃进行退火处理,分别从XRD衍射谱、原子力显微镜(AFM)照片及光致发光等方面对薄膜结构等进行研究并探讨退火处理对薄膜的影响.
退火处理对氧化锌薄膜的特性影响
【摘 要】
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用脉冲激光沉积法(PLD)制备氧化锌薄膜,600℃进行退火处理,分别从XRD衍射谱、原子力显微镜(AFM)照片及光致发光等方面对薄膜结构等进行研究并探讨退火处理对薄膜的影响.
【机 构】
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郑州大学,郑州大学
【出 处】
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咸宁学院学报
【发表日期】
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2005年6期
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