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利用射频磁控溅射技术,以Ar和O2气混合气体为溅射气体在载玻片上制备了锐钛相TiO2薄膜.为了提高TiO2薄膜的光催化活性,在TiO2薄膜表面进行了钽修饰.利用X射线衍射(XRD),原子力显微镜(AFM)和UV-VIS-NIR分光光度计等技术对薄膜进行了表征.结果表明:对TiO2薄膜的表面进行适量的Ta元素修饰可以提高其光催化活性.