经Al2O与SiOx钝化的多孔硅及其光致发光特性

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在一定偏压下用AlCl3+C2H5OH+H2O混合液对多孔硅进行了后处理。经过自理的多孔硅与未经处理的多孔硅相比,其发光强且稳定。通过对样品进行红外吸收谱的测试和分析,指出在后处理样品表面形成的Al2O3与SiOx结构是多孔硅发光增强和稳定性得到提高的原因。
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