SF6放电等离子体分解特性的研究

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SF6放电分解涉及复杂的物理化学过程,电弧能量是其重要的影响因素之一。文中考虑电弧能量对等离子体温度的作用,对Saha(电离)方程和Guldberg-Wagge(解离)方程进行修正,建立SF6放电分解数学模型,对SF6气体分解物组分及含量进行计算,得到各粒子组分及含量随温度变化的动态过程;计算了0.6 MPa下等离子体内部各组分粒子数密度;计算了压强0.10.6 MPa、温度30041 300 K条件下等离子体内部电子数密度;搭建了光谱实验平台,实验获得了压强为0.10.4 MPa下电子密度等微观参量,对理论计算结果验证。研究结果表明:SF6气体在电子温度小于1 000 K时开始逐渐分解,不同温度下所发生的化学反应不尽相同;电子数密度理论计算结果与实验测量结果相吻合,验证了该计算方法的可行性与准确性。
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