金刚石薄膜外延生长温度与外延膜品质的研究

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选用国产毫米级人造单晶金刚石,用微波增强的化学气相沉积方法,在氢气、丙酮体系中,实现了单晶金刚石的气相外延生长。通过扫描电镜等分析,初步实现了对外延单晶金刚石薄膜的品质鉴定。实验还发现,外延生长温度与金刚石晶面的原子密度关系密切。 The selection of domestic millimeter-scale artificial single crystal diamond, microwave-enhanced chemical vapor deposition method, hydrogen, acetone system, the single-crystal diamond vapor phase epitaxial growth. By scanning electron microscopy and other analysis, initially achieved the quality of epitaxial single crystal diamond film identification. The experiment also found that the epitaxial growth temperature is closely related to the atomic density of the diamond crystal plane.
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