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电子束曝光系统中的校正技术
电子束曝光系统中的校正技术
来源 :电工电能新技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shaochao0926
【摘 要】
:
电子束曝光系统中采用了多项校正技术,才得以使之渐致完善,成为微细加工领域中一种非常重要的工艺设备。本文根要地介绍了这些校正技术的原理、适用范围以及校正方法的要点。
【作 者】
:
武丰煜
【机 构】
:
中国科学院电工研究所
【出 处】
:
电工电能新技术
【发表日期】
:
1995年3期
【关键词】
:
电子束曝光系统
场畸变校正
半导体器件
electron beam exposure system
field distortion correction
po
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电子束曝光系统中采用了多项校正技术,才得以使之渐致完善,成为微细加工领域中一种非常重要的工艺设备。本文根要地介绍了这些校正技术的原理、适用范围以及校正方法的要点。
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