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在分析现有三坐标测量机(CMM)测量路径算法的基础上,提出一种基于已知CAD模型和矢量相似淘汰算法的CMM测量路径规划方法。该算法根据测量邻近点之间的曲率变化关系,优化选择测量点,生成测量路径和DMIS程序。同时,建立了DMIS程序仿真检验平台。试验证明,经过仿真检验平台检验调试的DMIS程序可直接运用于CMM测量,并可取得良好的测量效果,大大提高了三坐标测量的效率和精度。