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期刊论文
平板式PECVD设备工艺腔加热系统的设计
平板式PECVD设备工艺腔加热系统的设计
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lau_lfm
【摘 要】
:
根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗
【作 者】
:
杨彬
禹庆荣
苏卫中
李健志
谢利华
陈特超
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2019年2期
【关键词】
:
太阳能电池
电阻加热
电功率
温度
均匀性
Solar cells
Resistance heating
Electrical power
Temperatur
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根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗,提高了温度均匀性。
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