【摘 要】
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针对0．13μm和0．35μm工艺尺寸的两款商用SRAM器件进行了脉冲激光背部单粒子翻转效应试验方法研究。单粒子翻转效应主要测试单粒子翻转阈值和单粒子翻转截面，本文主要研究了激光
【机 构】
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中国科学院空间科学与应用研究中心,中国科学院大学
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针对0．13μm和0．35μm工艺尺寸的两款商用SRAM器件进行了脉冲激光背部单粒子翻转效应试验方法研究。单粒子翻转效应主要测试单粒子翻转阈值和单粒子翻转截面，本文主要研究了激光聚焦深度、激光脉冲注量、测试模式和芯片配置的数据对测试两者的影响。试验结果表明：只有聚焦到芯片有源区才可测得最低的翻转阈值和最大的翻转截面，此时的结果与重离子结果基本一致；注量对翻转阈值测试无影响，但注量增大时翻转截面会减小，测试时激光脉冲注量应小于1×10^7cm-2；测试模式和存储数据对翻转阈值和翻转截面的影响不大，
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