超构表面红外分光阵列设计

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tiantianaimeng
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超构表面阵列分光具有高透射、低损耗、高集成度的特点,是当前微纳结构领域的研究热点。本文提出了一种由Si和SiO2组成的超构表面红外分光阵列。以不同波长的红外光入射单元,仅改变圆柱半径,分别计算不同波长的透射率和出射相位随半径的变化。根据广义斯涅尔定律,选择具有不同圆柱半径的若干单元组成超构表面分光周期。该周期对不同波长的入射光具有对应的透射相位梯度,验证了超构表面阵列具有分光功能。对超构表面红外分光阵列可能的应用提出了展望。结果表明:以半径为150,250,300 nm的3个Si纳米柱组成的超构表面周期可
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波发生器安装误差是柔轮变形测量中较为常见的误差来源之一,安装误差的存在使得柔轮变形与转动角度之间的函数关系产生较大偏差。为解决波发生器中心与回转中心的安装误差问题,本文对柔轮测量误差进行分析,并提出柔轮径向变形误差补偿方法。首先,基于坐标变化原理建立了偏心误差表征数学模型,获得安装偏心量、波发生器实际结构参数;其次,基于波发生器偏心径向变形函数构建了柔轮径向变形误差修正模型,对安装偏心工况下柔轮实际径向变形函数进行修正补偿。实验结果表明:在安装误差影响下柔轮变形函数峰谷偏差达0.134 mm,与理论相差较
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