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Kinetic and Microstructure of SiC Deposited from SiCl4-CH4-H2
【机 构】
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StateKeyLabofMulti-phaseComplexSystems,GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences
【出 处】
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中国化学工程学报：英文版
【发表日期】
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2009年3期
【基金项目】
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Supported by the One Hundred Talents Program of Chinese Academy of Sciences
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