SiC单晶的性质、生长及应用

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本文综述了 Si C 单晶的物理性质、晶体结构、制备过程以及应用等详细地介绍了大尺寸 Si C 单晶的 P V T 法制备和该过程中的关键要素, 分析了 P V T 法制备的 Si C单晶中所存在的缺陷及其成因 In this paper, the physical properties, crystal structure, preparation and application of Si C single crystal are reviewed. The P V T preparation of large-size Si C single crystal and the key elements in the process are described in detail. Preparation of Si C single crystal defects and their causes
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