【摘 要】
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为了获得优异性能的热释电薄膜材料,详细论述了热释电薄膜探测优值的提高途径和影响因素.研究重点在提高薄膜热释电系数（新材料体系的开发及原有材料的掺杂改性）以及降低薄膜的
【机 构】
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哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨理工大学工程电介质及其应用教育部重点实验室
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为了获得优异性能的热释电薄膜材料,详细论述了热释电薄膜探测优值的提高途径和影响因素.研究重点在提高薄膜热释电系数（新材料体系的开发及原有材料的掺杂改性）以及降低薄膜的介电常数（多孔/多层薄膜结构设计）.但单纯热释电系数的提高对于提高探测优值作用有限;而设计多孔/多层结构会造成薄膜质量劣化,增大漏电流密度.因此作者结合多孔薄膜和多层薄膜的各自优点,利用界面优化调谐的作用,在低结晶温度下,设计和制备出双层致密薄膜包夹多孔薄膜的复合结构薄膜.由此给出一种提高热释电薄膜探测优值的有效途径,同时复合结构薄膜体系的低
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