【摘 要】
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提高精馏塔塔顶温度，在原料三氯氢硅中混入体积分数0．9％-20．3％的四氯化硅；调整了进入还原炉的混合气流量和硅棒温度，弱化了四氯化硅的加入对硅沉积速度的不利影响。显著降低了尾气组
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提高精馏塔塔顶温度，在原料三氯氢硅中混入体积分数0．9％-20．3％的四氯化硅；调整了进入还原炉的混合气流量和硅棒温度，弱化了四氯化硅的加入对硅沉积速度的不利影响。显著降低了尾气组分中四氯化硅的含量，而多晶硅产品品质和沉积速度无明显变化。优化条件下，进气中STC质量分数从4．21％增加到18．11％，尾气中STC质量分数从32．05％减小到25．62％，尾气比进气中STC质量分数增加的倍率由6．61减小到0．41。
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