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本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统，以及一种典型的微机电系统器件——微加速度计。
微机电系统与微加速度计
【摘 要】
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本文简要介绍了具有高新技术特征的微机电系统，以及一种典型的微机电系统器件——微加速度计。
【机 构】
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北京广播学院物理教研室
【出 处】
：
物理与工程
【发表日期】
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2004年1期
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