钛合金双辉无氢渗碳中等离子体输运过程分析

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针对钛合金耐磨性差、易吸氢而产生氢脆的特点,采用双辉无氢渗碳的方法对钛合金进行表面渗碳处理,在钛合金表面形成了含有高硬度TiC相的表面合金层。影响渗碳效果的诸多因素中,碳离子的产生、输运及在钛合金表面的吸附对渗碳效果起着决定性作用。粒子间存在着频繁的碰撞,在负偏压的作用下集体向阴极漂移,并有绕射现象。
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