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半导体芯片在运行过程中散发热量。芯片的工作温度影响着其内部电路性能，更重要的是，其影响着芯片的可靠性。对半导体测试，这是一个重要问题，因为如果测试系统电子器件的温度不能稳定在目标水平，那么产出将下降，可重复性将会劣化。如果目标温度不能保持在相对较低的水平，那么系统可靠性将明显降低。自动测试系统(ATE)采用基于空气或液体介质的冷却技术。液冷系统比风冷系统的温度稳定性要高。液冷系统的热传导效率较高，因此可以降低ATE的工作温度。这可以提高系统可靠性，降低测试系统运行成本，改善吞吐量，保护测试系统投资。本文阐