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针对混合产品半导体制程，采用了一种多重输入输出批间控制技术．该技术从目前的单机、单产品与单变量的批间控制技术，推广至多机、多产品与多变量的批间控制．所设计的D—JADE控制器采用两个预测器，分别预测制程位移与漂移造成的扰动，然后对下一批次的制程输入做补偿控制，使制程输出控制在期望值．为了验证采用的控制算法，设计了半导体生产制程的干扰模型，并利用此模型对D-JADE和D-EWMA进行了仿真比较．由仿真结果可知，所采用的控制器比传统的D-EWMA控制器具有更好的预测与控制效能．