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为达到微小芯片粘贴系统高精度的性能要求,以二极管粘片机为例在系统分析微小芯片粘贴系统运动控制的各误差因素的基础上,提出了误差校正的方法.特别针对微小芯片粘贴系统的高精度要求,采用了全闭环控制、视觉定位等先进技术.校正方法在具体工作中校正效果良好,对精度提高作用很大.
微小芯片粘贴系统的拾取误差校正
【摘 要】
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为达到微小芯片粘贴系统高精度的性能要求,以二极管粘片机为例在系统分析微小芯片粘贴系统运动控制的各误差因素的基础上,提出了误差校正的方法.特别针对微小芯片粘贴系统的
【机 构】
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长春光学精密机械与物理研究所,中国科学院研究生院
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2005年11S期
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