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利用薄膜工艺和微细加工技术，将ＮｉＦｅ合金或ＮｉＣｏ合金真空蒸镀或溅射在玻璃或石英基片上，制作的磁阻传感器具有广泛的用途。
薄膜磁阻传感器及其应用
【摘 要】
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利用薄膜工艺和微细加工技术，将ＮｉＦｅ合金或ＮｉＣｏ合金真空蒸镀或溅射在玻璃或石英基片上，制作的磁阻传感器具有广泛的用途。
【机 构】
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电子科技大学
【出 处】
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电子元件与材料
【发表日期】
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0年DZAL405.013期
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