【摘 要】
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中国中微半导体设备公司曰前宣布，对于美国泛林科技针对其台湾分公司及其关系企业的专利侵权诉讼，中微已经获得胜诉。在日前的判决中，台湾智能财产法院驳回了泛林的诉讼，并认定泛
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中国中微半导体设备公司曰前宣布，对于美国泛林科技针对其台湾分公司及其关系企业的专利侵权诉讼，中微已经获得胜诉。在日前的判决中，台湾智能财产法院驳回了泛林的诉讼，并认定泛林声称遭到侵害的专利无效。2009年1月，泛林表示，中微型号为Primo D-RIE的电浆蚀刻机，侵害了其电浆反应器中的多孔电浆密封环，
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