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本文提出一种测量金属-半导体接触电阻率的方法——三点法。样品制备简单,无需台面绝缘,用硅进行实验验证,结果与文献报道的相符。实验表明接触电阻与接触半径在双对数座标中是一条斜率为“-2”的直线。
测量金属一半导体接触电阻率的三点法
【摘 要】
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本文提出一种测量金属-半导体接触电阻率的方法——三点法。样品制备简单,无需台面绝缘,用硅进行实验验证,结果与文献报道的相符。实验表明接触电阻与接触半径在双对数座标中
【机 构】
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南京大学物理系
【出 处】
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南京大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1990年3期
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