【摘 要】
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以金刚石膜/硅复合材料作为基板,运用微加工技术在金刚石膜/硅衬底上光刻铬/金微条电极,制成了流气式微条气体室探测器.在室温及101.0kPa下,使用微机多道能谱仪及辅助电子学
【机 构】
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上海大学材料科学与工程学院电子信息材料系
【基金项目】
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中国科学院资助项目，上海市科委资助项目，上海市应用材料研究与发展基金，上海市教委资助项目
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以金刚石膜/硅复合材料作为基板,运用微加工技术在金刚石膜/硅衬底上光刻铬/金微条电极,制成了流气式微条气体室探测器.在室温及101.0kPa下,使用微机多道能谱仪及辅助电子学设备在5.9 keV55Fe X射线辐照下测量了微条气体室探测器在不同电压下的能谱响应和脉冲信号.结果表明微条气体室探测器具有较高的信噪比,计数率≥103Hz,当混合工作气体Ar∶CH4=90∶10、漂移电压-1000V、阴极电压-650V、阳极0V时,能量分辨率达12.3%.
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