【摘 要】
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本文介绍了旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机的特点和所镀氮化钛膜的组织、性能
This paper introduces the characteristics of rotating magnetron columnar arc source mu
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本文介绍了旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机的特点和所镀氮化钛膜的组织、性能
This paper introduces the characteristics of rotating magnetron columnar arc source multi-arc ion plating machine and the structure and properties of the deposited titanium nitride film
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