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针对目前研究的激光投影光刻机的对准需要，设计了一套基于视频图像对准原理的激光投影光刻对准系统。详细分析了共焦显微镜和CCD相关双采样图像处理关键技术在本系统中的应用，结果表明CCD图像的质量明显提高，从而提高了视频图像对准系统的精度，完全满足系统分辨精度2．5μm的要求。
基于视频共焦显微镜光刻对准系统设计研究
【摘 要】
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针对目前研究的激光投影光刻机的对准需要，设计了一套基于视频图像对准原理的激光投影光刻对准系统。详细分析了共焦显微镜和CCD相关双采样图像处理关键技术在本系统中的应用，
【机 构】
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广东工业大学物理与光电工程学院
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2008年2期
【基金项目】
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广州市科技计划资助项目（2006Z3-D0041）,广东省自然科学基金（07001789）
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