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用溶胶-凝胶法技术制备的氧化铝绝缘薄膜材料呈非晶态,含有微量的微晶成分,单层薄膜在基片表面上的形貌呈岛状分布,多层薄膜表面有褶皱,具有“丝绒”状结构。随着热处理温度的升高,薄膜由非晶状逐步向晶态转化,薄膜的绝缘性能提高。600℃时因薄膜“塌陷”的产生,绝缘性能下降。500℃烧成的薄膜绝缘性能最好。