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用等离体CVD法高速合成高刚石
用等离体CVD法高速合成高刚石
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yan8108
【摘 要】
:
<正> 关于金刚石气相合成法,已经发表了热灯丝方法以及其他许多的研究报告,不过,笔者认为这些方法跟现在已应用很广的高压法比较,其合成速度慢,在实际应用中还留有研究的余地
【作 者】
:
尾花博
吴明华
【机 构】
:
日本
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1990年2期
【关键词】
:
等离子体
CVD法
合成
金刚石
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<正> 关于金刚石气相合成法,已经发表了热灯丝方法以及其他许多的研究报告,不过,笔者认为这些方法跟现在已应用很广的高压法比较,其合成速度慢,在实际应用中还留有研究的余地。 在这种情况下,东京工业大学的吉川昌范研究室和本公司共同研究了利用弧光放电等离
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