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本文扼要介绍了电子束直写圆片的原理，地形标记的识别，以及电子束曝光系统能识别的圆片标记的制造技术。
电子束直写圆片技术
【摘 要】
：
本文扼要介绍了电子束直写圆片的原理，地形标记的识别，以及电子束曝光系统能识别的圆片标记的制造技术。
【机 构】
：
中国华晶电子集团公司掩模工厂!无锡,214061
【出 处】
：
微电子技术
【发表日期】
：
1999年4期
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