射频溅射氧化铁薄膜的红外鉴定

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本文应用红外光谱技术,对射频溅射氧化铁薄膜的相组成、显微结构、颗粒尺寸在退火前后的变化进行了实验研究,结果表明:待测的薄膜样品相组成为α—Fe<sub>2</sub>O<sub>3</sub>,400℃退火处理后,薄膜中的晶粒尺寸不变,700℃退火样品晶粒明显长大。实验表明,粉末样品和薄膜样品的红外谱图之间存在大的差异,但这种差异可采用将薄膜研碎,重新压片的方法消除。
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