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分子束外延半导体纳米材料
分子束外延半导体纳米材料
来源 :现代科学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hyzxp01
【摘 要】
:
本文简介了分子束外延半导体纳米材料的基本原理,分子束外延设备及用以制备的低维(纳米)材料的进展及其应用。
【作 者】
:
孔梅影
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所,100083
【出 处】
:
现代科学仪器
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
分子束外延
半导体低维材料
超晶格
纳米材料
Molecular Beam EpitaxyLow dementional (Nanometer) semicon
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本文简介了分子束外延半导体纳米材料的基本原理,分子束外延设备及用以制备的低维(纳米)材料的进展及其应用。
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