Nd：YAG连续激光诱导下InP的Zn掺杂

来源 :量子电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：guozl

【摘要】

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Nd:YAG连续激光辐照在表面蒸有Zn薄膜的n-InP片上,用激光诱导的方法实现Zn在InP中掺杂,形成PN结.用电化学C-V方法和扫描电子显微镜对辐照后的样品进行分析研究,给出激光辐照

【作者】

：

蔡志华田洪涛陈朝周海光孙书农 Pavel K.Kas

【机构】

：

厦门大学物理系,DepartmentofPhysics

【出处】

：

量子电子学报

【发表日期】

：

2002年5期

【关键词】

：

Nd:YAG连续激光 INP 激光诱导 Zn掺杂 InP laser inducing doping of Zn

【基金项目】

：

国家自然科学基金，教育部与莫斯科大学合作项目

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Nd:YAG连续激光辐照在表面蒸有Zn薄膜的n-InP片上,用激光诱导的方法实现Zn在InP中掺杂,形成PN结.用电化学C-V方法和扫描电子显微镜对辐照后的样品进行分析研究,给出激光辐照功率、辐照时间等工艺参数对结深、浓度分布影响.在n-InP片表面得到受主浓度分布均匀、高掺杂(～1019cm-3)、浅结(～1μm)的P-InP.初步分析其掺杂机理是激光诱导下所形成的合金结过程.

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