切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
基于共晶的MEMS芯片键合技术及其应用
基于共晶的MEMS芯片键合技术及其应用
来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liostone
【摘 要】
:
叙述了MEMS封装中共晶键合的基本原理和方法 ,分析了Au Si、Au Sn、In Sn等共晶键合技术的具体工艺和发展 ,并对其应用作了介绍
【作 者】
:
陈明祥
易新建
刘胜
甘志银
陈四海
【机 构】
:
华中科技在学,华中科技在学
【出 处】
:
半导体光电
【发表日期】
:
2004年06期
【关键词】
:
芯片键合
共晶键合
MEMS
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
叙述了MEMS封装中共晶键合的基本原理和方法 ,分析了Au Si、Au Sn、In Sn等共晶键合技术的具体工艺和发展 ,并对其应用作了介绍
其他文献
中国本土化城市形态论
针对中国城市正在表现为城市文化与城市文脉的断裂,城市记忆出现空白,城市形态从物理的、空间的、文化的、心理的层面出现断裂这些现象,全面反思了中国城市形态的各种主要问
期刊
本土化城市形态
城市记忆
人与自然和谐为本
脊柱损伤的X线与CT诊断对比分析
目的:脊柱的损伤CT比X线片能够提供更多的信息,探讨对脊柱损伤的诊断价值。方法:回顾分析120例脊柱损伤的X线与CT影像资料。结果:120例中X线发现椎体骨折116例,CT扫描发现椎
期刊
脊柱损伤
X线
CT诊断
政府如何支持民营经济发展
为深入学习贯彻落实河北省委、省政府下发的<关于进一步鼓励、支持和引导民营经济发展的若干意见>(以下简称<若干意见>),有关部门负责人作了如下解答.
期刊
民营经济发展
政策解读
机械自动化在食品包装领域中的应用研究
随着人们对食品包装的安全提出了更高的要求,高效、安全、卫生的自动化食品包装机械应运而生。对我国食品包装领域机械自动化的应用现状进行了分析,并通过与发达国家进行对比
期刊
机械自动化
食品包装
自动化技术
对国企监管中的监事会、内部审计和会计委派三者关系之探讨
武汉钢铁(集团)公司(下称武钢)目前在财务监督中实行的派驻全资子公司监事会、内部审计、会计委派制(简称监事会、审计、会计委派),是武钢在社会主义市场经济体制要求下,建立
期刊
监事会
子公司
会计委派
三者关系
内部审计
微波消解样品-电感耦合等离子体原子发射光谱法测定镍精矿中10种金属元素
采用微波消解样品-电感耦合等离子体原子发射光谱法同时测定镍精矿样品中铝、钙、钴、铬、铜、锰、镁、镍、铅、锌等10种金属元素的含量。0.200 0g试样置于消解罐中,先后加入
期刊
电感耦合等离子体原子发射光谱法
微波消解样品
金属元素
教育论文集Handbook of Foreign Language Communication and Learning(Chapter 6)英汉翻译实践报告
二语习得研究对于语言教学有着重要的指导意义。明确二语习得研究与语言教学之间的关系有利于提高教学质量和教学效率。本文以教育论文集Handbook of Foreign Language Commu
学位
松散句
语篇衔接
教育类文本翻译
一起地铁供电系统停电事故的分析及对策
地铁供电系统中的母联闪络是一种具有一定隐蔽性的严重故障,会导致主变电所的停电和地铁线路的大面积停运。结合一起地铁供电系统停电事故,分析了母联闪络故障的产生机制和闪
期刊
零序电流保护
供电系统
母联闪络
接地方式
主变电所
贯叶连翘高产栽培技术
期刊
高产栽培技术
分株繁殖
人畜粪
中耕除草
城市交通机动化对城市公共空间的影响
我国当前人口、土地和机动化三方面矛盾突出,快速交通机动化进程中城市公共空间情境面临危机。通过分析城市交通与城市公共空间形态、使用方式及使用人群、文化区位等的相互
期刊
城市公共空间情境
城市中心区
交通机动化
交通可达性
与本文相关的学术论文