【摘 要】
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在蓝宝石基片上使用BaxSr1-xTiO3（BST）铁电薄膜电容作为可调元件制作出一种五阶梳状线可调带通滤波器。通过对BST平行板电容的材料特性（介电常数、损耗和可调率）的提取,其中40 V
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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在蓝宝石基片上使用BaxSr1-xTiO3（BST）铁电薄膜电容作为可调元件制作出一种五阶梳状线可调带通滤波器。通过对BST平行板电容的材料特性（介电常数、损耗和可调率）的提取,其中40 V偏压下的可调率为43.1%,将这些特性运用于可调滤波器的制作。初步的实验结果分析表明,在20V直流偏置电压作用下,滤波器的中心频率从1.19GHz变化到1.31GHz（可调率为10.1%）,带内插入损耗为13.5-13.7dB,回波损耗低于12dB。
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