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在真空技术应用中,高精度气体微流量计用于连续膨胀法校准系统压力的产生、漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定.PTB先后研制了三代气体微流量计,第一代为手动型,第二代为半自动型,第三代为全自动型.本文详细介绍了PTB研制的气体微流量计的性能和特点,并介绍了气体微流量计在真空漏孔的漏率测量方面的应用.另外,还介绍了PTB最近研制的大气压力下漏孔漏率测量系统的性能和特点.