新型电平衡式差动电容测微仪

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuechao002
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阐述了新型电平衡式差动电容测微仪的工作原理、硬件结构设计及其软件实现方法.应用LabVIEW对传感器的输出信号进行检测,获得位移数据、曲线和图形.与其他测微仪相比,具有更高的灵敏度、更高的检测精度和更好的线性度.
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