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碳化硅(SiC)的体积电阻率ρv和非线性系数β与SiC粉料表面二氧化硅(SiO2)的含量有直接关系.研究了酸洗和煅烧处理SiC对SiC粉料表面SiO2的含量的影响以及SiO2含量对SiC的体积电阻率和非线性系数的影响.酸洗后SiC粉料表面SiO2的含量下降,ρv和β比未酸洗的SiC粉料均有所降低;煅烧后SiC表面SiO2含量增加,ρv和β增大.因此通过酸洗或煅烧能有效地调整SiC粉料和防晕带的ρv和β,使其达到实际应用的要求.