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内壳层光电离机制是产生粒子数反转的途径之一，如何在中等功率的激光器上产生接近“水窗”波段的Ｘ光激光输出是人们关注的一个焦点。本文介绍在双靶耦合条件下利用内壳层光电离原理产生粒子数反转的实验研究，包括：实验原理、靶型选择、泵浦靶Ｘ光源强度测量及工作靶线谱诊断等，最后对实验结果进行了讨论，认为在国内目前条件和我们已采取的措施下，双靶耦合光电离机制只能产生微弱的粒子数反转。