【摘 要】
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提出了一种检测微小电容信号的可配置的电容-电压转换电路.该电路由电容补偿电路、电荷积分电路、采样保持电路、低通滤波和缓冲器组成.使用调制解调的电容检测方法,实现了电
【机 构】
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中国科学院大学,北京100049;中国科学院半导体研究所,北京100083
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提出了一种检测微小电容信号的可配置的电容-电压转换电路.该电路由电容补偿电路、电荷积分电路、采样保持电路、低通滤波和缓冲器组成.使用调制解调的电容检测方法,实现了电容-电压转换.仿真结果表明,电容分辨率为1.70 aF/√Hz,输出电压信号与电容差成正比,确定系数R2为0.999 99.电路中的积分电容值、放大增益、补偿电容和带宽均可以通过编程灵活设定.该电容-电压转换电路可用于MEMS及其他电容式传感器.
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