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提出通过改变溅射气压获得倾斜于C轴的AlN薄膜的制备方法，探讨了倾斜AlN薄膜的生长机理。以3对交替沉积的Ti—MD金属层为布拉格声学反射层，采用MEMS工艺制备了基于倾斜AlN薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器，并对器件的S11参数进行测试分析，得到传感器的中心频率为0．78GHz，表明该器件在生物液相检测领域具有一定的应用前景。