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在液晶TFT生产领域中,Sputtering工艺得到了较好的应用,通过对Sputtering生产工艺的讲述,解析Sputtering工艺生产中各重要环节,并对Sputtering生产工艺进行探究,为生产应用提供有力帮助。
关于Sputtering工艺在液晶TFT生产中的应用
【摘 要】
：
在液晶TFT生产领域中,Sputtering工艺得到了较好的应用,通过对Sputtering生产工艺的讲述,解析Sputtering工艺生产中各重要环节,并对Sputtering生产工艺进行探究,为生产应用提
【机 构】
：
北京京东方显示技术有限公司
【出 处】
：
制造业自动化
【发表日期】
：
2018年7期
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