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低温挥发-电感耦合等离子质谱法测定高纯三氯氢硅中十三种杂质
低温挥发-电感耦合等离子质谱法测定高纯三氯氢硅中十三种杂质
来源 :现代冶金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wanxueguan55
【摘 要】
:
阐述了测定高纯三氯氢硅中十三种杂质的方法,操作过程简单、快速、高效,准确度较高,能很好地满足对高纯三氯氢硅中杂质的质量控制要求。
【作 者】
:
刘英杰
李沅庭
郑华荣
【机 构】
:
江苏华测品标检测认证技术有限公司,南京中锗科技有限责任公司
【出 处】
:
现代冶金
【发表日期】
:
2017年3期
【关键词】
:
电感耦合等离子质谱法
低温挥发
碰撞反应池
高纯三氯氢硅
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阐述了测定高纯三氯氢硅中十三种杂质的方法,操作过程简单、快速、高效,准确度较高,能很好地满足对高纯三氯氢硅中杂质的质量控制要求。
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