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介绍了金属膜、介南膜对光透射、反射及吸收的机理，并对常用的金属膜化合物膜的性能加以说明，以制备化合物膜工艺及工艺参数对膜质量的关系作了定性的分析，结合生产实际阐述了靶功率、反应气体的分压强、膜厚的控制、通气的方式与膜系与膜质量的关系。
镀膜玻璃的膜系特性及生产工艺控制
【摘 要】
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介绍了金属膜、介南膜对光透射、反射及吸收的机理，并对常用的金属膜化合物膜的性能加以说明，以制备化合物膜工艺及工艺参数对膜质量的关系作了定性的分析，结合生产实际阐述了靶
【机 构】
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中国耀华镀膜玻璃厂,佳木斯工农玻璃厂
【出 处】
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玻璃
【发表日期】
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1996年6期
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